Введение метода операции машины вакуумные покрытия

Машины вакуумные покрытия — покрытие инструмент, который должен работать на высокий вакуум. Он делится на два вида испарения и распыления.

Процесс испарения покрытие обычно является нагрев целевой материал, который приводит к поверхности компонентов материала мишени для испарения по атомной или ионной форме и на поверхности субстрата, образуя тонкой пленки в процессе фильма формирование.

Распыления покрытия может пониматься просто как использование электроны или высокоэнергетического лазера для обстрела цели и сделать поверхности компоненты цели распыления в виде атомов или ионов и в конечном итоге на хранение на поверхности субстрата, формирования тонкопленочных через процесс формирования фильма.

Используйте шаги:

1. операции метод электромеханический кабинета для вакуумных покрытий

(1) Откройте источник воды насос и воздуха.

(2) включите питание.

(3) открыть источник питания холдинга насоса и Вакуумметр, вакуумметр V1 положение, ждать его значение меньше 10, а затем введите следующую операцию. Возможно, требуется пять минут.

(4) включите механический насос, выполнить предварительной накачки, открыть источник питания турбо молекулярный насос и начать молекулярный насос. Выключатель вакуумный манометр меняется на должность V2. После того, как степень вакуума перекачивается в менее чем 2, остановить накачки, и он займет 20 минут.

(5) когда чтений молекулярный насос турбины наблюдаются достичь 250, pre накачки закрыт, откройте резервного насоса и высокой вакуумные клапаны продолжают эвакуировать. Только после того, как пылесос достигает 2 × 10-3, блок питания электронной пушки может быть включен.

2. Эксплуатация машины вакуумные покрытия

(1) включите питание.

(2) в то же время открыть электронной пушки, I и II блок питания: по данным электронной пушки я власть, выключатель, а затем задержки света, включается лампа и защиты свет, свет. После трех минут задержки света и защиты лампа выключить. Если на задней двери не закрыты или реле потока неисправен, защиты свет всегда будет на.

(3) открыть высокого давления, высокого давления будет достичь более чем 10кВ, отрегулируйте луч о 200mA, сетка щит 20V / 100mA, накаливания текущий 1.2a, отклонение текущего swing 1 ~ 1,7.

3. завершение последовательности машины вакуумные покрытия

(1) отключите датчика наряд и молекулярный насос.

(2) когда молекулярный насос показывает до 50, высокой вакуумный клапан, насос и механический насос закрыты в последовательности. Возможно, требуется 40 минут.

(3) когда молекулярный насос показывает меньше 50, закройте Холдинг насоса.