Введение смещения
Feb 09, 2018| Напряжение смещения относится к отрицательному напряжению, приложенному к подложке в процессе нанесения покрытия. Положительная клемма источника питания смещения подключается к вакуумной камере, а вакуумная камера заземлена. Отрицательная клемма напряжения смещения подключается к заготовке. Поскольку напряжение земли обычно считается нулевым потенциалом, напряжение на заготовке отрицательное смещение, называемое смещением.
1. Функция отрицательного смещения
◆ Обеспечить энергию частиц;
◆ Эффект нагрева на подложке;
◆ Удаление газа и жирной грязи, адсорбированных на подложке, полезно для улучшения прочности сцепления пленки;
◆ активировать поверхность подложки;
◆ Для больших частиц в дуговом ионном покрытии есть эффект очистки.
2. Классификация напряжения смещения
(1) В соответствии с формой волны можно разделить на:
Смещение постоянного тока Импульсное смещение постоянного тока
DC смещение смещения импульсов Биполярное смещение импульса
(2) В соответствии с необходимостью переключения высокого напряжения и низкого напряжения при использовании мощности его можно разделить на:
Схема выходной мощности переключения высокого напряжения и низкого напряжения
Нет необходимости переключаться с непрерывным регулированием высокого и низкого напряжения
Регулируемые параметры источника питания смещения: амплитуда смещения, коэффициент заполнения, частота и форма волны.
3. Характеристика источника питания смещения
◆ Количество тушения дуги в минуту.
◆ Обнаружение чувствительности больших дуг (мд / кВт обнаруживаемой энергии дуги).
4. Загрузить характеристику смещения
Рабочая нагрузка смещения представляет собой плазму, и плазма проявляет резистивность, когда используется смещение постоянного тока. Для другого, когда применяется импульсное смещение, плазма проявляет резистивный + емкостной, который можно рассматривать как последовательное соединение резисторов и конденсаторов. Суть емкости обусловлена плазменной оболочкой на подложке.
