Диффузионный насос
Apr 09, 2020| Диффузионный насос
Как мы все знаем, масляный диффузионный насос - это насос, часто используемый в высоковакуумных системах. Итак, вопрос в том, каковы методы? Способы заключаются в следующем: во-первых, выбор хороших характеристик масла диффузионного насоса на предельное давление масляного диффузионного насоса оказывает большое влияние. Если нет. 3 используется масло диффузионного насоса, предельное давление может достигать только 10-5pa; Когда используется силиконовое масло 275, предельное давление может достигать 10-7 Па, а предельное давление может быть увеличено на 2 порядка. Во-вторых, парциальное давление перекачиваемого газа также изменяется с разницей масла в насосе, которая является влиянием состава масла в насосе. Следовательно, масляный диффузионный насос с хорошей производительностью должен быть выбран для получения сверхвысокого вакуума. Так как масло для диффузионного насоса очень важно, как мы должны выбирать? Требования к диффузионному насосному маслу следующие: относительная молекулярная масса насосного масла должна быть большой, давление пара при комнатной температуре должно быть низким, термостойкость и стойкость к окислению должны быть хорошими, температура замерзания и вязкость при низкой температуре должны быть низкими, нетоксичными, коррозионная стойкость, стоимость будет низкой. Высоковакуумный масляный диффузионный насос обычно ИСПОЛЬЗУЕТ №. 3 диффузионный насос масло, сверхвысокого вакуума ИСПОЛЬЗУЕТ силиконовое масло, требует сверхвысокого вакуума системы без углеводородов, диффузионный насос использует фторсодержащего масла. Во-вторых, использование разумной технологии обжига масляного диффузионного насоса для получения сверхвысоковакуумной системы должно осуществляться высокотемпературным выпеканием, целью которого является снижение расхода материала. Материалы в атмосфере могут поглощать и поглощать некоторое количество газа, когда в вакууме он производит десорбцию, газ медленно выделяется, чтобы ускорить десорбцию, используя выпекание.
Выпекать? Звучит просто, не правда ли? Нет, нет, нет, нет, нет, нет, нет, нет, нет, нет. Принцип, чем выше температура, тем лучше, может ускорить воздух, но и рассмотреть, выдерживает ли материал высокую температуру. Выпекать при правильной температуре. Обычно металлические материалы, такие как нержавеющая сталь, температура выпекания 250 ℃ - 450 ° С; Температура выпекания неметаллических материалов составляет 80 ℃ - 100 ℃ . Время выпечки выше 4 ч - 8 ч. Время выпечки очень высокого вакуума составляет более 24 часов. Производительность типичной металлической масляной диффузионной насосной системы (после обжига) и компонентов остаточного газа в сверхвысоковакуумной системе металлического масляного диффузионного насоса. В-третьих, добавьте устройство с холодной ловушкой, чтобы предотвратить обратный поток масла в насосе, и перенесите масло из насоса через входной поток насоса в перекачиваемый контейнер. Это явление называется обратным потоком. Явление движения молекул масла вдоль стенки в перекачиваемую емкость называется обратной миграцией. Как обратное, так и обратное перемещение влияют на предельное давление вакуумной системы. Холодная ловушка широко используется в системе сверхвысокого вакуума, она устанавливается между входом насоса и вакуумной камерой, не только может эффективно улавливать обратный поток пара диффузионного насоса и частично расщепленного раствора, но также может удалять пар из вакуумная камера. Сверхвысоковакуумная система с различными ловушками. Сверхвысокий вакуум 10-8 Па ~ 10-10 Па (или выше) может быть получен после тщательной высокотемпературной выпечки и дегазации. Обычно используемая холодная ловушка представляет собой холодную ловушку с жидким азотом, потому что при температуре жидкого азота давление паров масла в насосе намного ниже требований сверхвысокого вакуума. Конструкция холодной ловушки с жидким азотом должна обеспечивать, чтобы молекулы, проходящие через ловушку, встречались с холодной поверхностью, а структура должна быть разумной. После установки холодного уловителя на жидком азоте скорость прокачки масляного диффузионного насоса снижается не более чем на 40%.
Уменьшение обратной диффузии перекачиваемого газа является одним из факторов, ограничивающих диффузионный насос для получения сверхвысокого вакуума. Антидиффузия газа связана с молекулярной массой. Чем меньше масса, тем легче антидиффузия. Существует два метода предотвращения обратной диффузии водорода в диффузионном насосе: во-первых, уменьшить давление выхлопных газов на выходе из диффузионного насоса, используя два диффузионных насоса, соединенных последовательно; Во-вторых, установить сублимационную ловушку из жидкого азота, охлаждаемого жидким азотом, на впускной трубе диффузионного насоса для улавливания антидиффузионного водорода.
IKS PVD Technology (Shenyang) Co., Ltd, производитель вакуумных лакировочных машин PVD из Китая, основной продукт
содержит: устройство для нанесения декоративного покрытия, устройство для нанесения покрытия на инструмент, устройство для нанесения оптического покрытия, линия для нанесения покрытия PVD. Свяжитесь с нами сейчас. E-mail: iks.pvd@foxmail.com
