Сравнение различных технологий сухого покрытия
Dec 06, 2018| Сравнение различных технологий сухого покрытия
IKS PVD, производство вакуумных лакировочных машин PVD, свяжитесь с нами сейчас, iks.pvd @ foxmail.com
метод покрытия | вакуумное испарение | осаждение распылением
| ионное покрытие | Химическая реакция покрытия (CVD) |
Можно покрывать металлом материал | металл | Некоторые металлические соединения | Металл, сплав, химический комплекс, керамика, высокомолекулярный соединение | Металл, сплав, керамика, компаунд |
Метод испарения пленочного материала | вакуумное испарение | Вакуумное распыление | Испарение, распыление | химическая реакция |
Подогрев основания ℃ | · 30-200 | · 150-500 | · 150-800 | · 300-1100 |
скорость осаждения, нм / мин | · 2500-75000 | · 10-100 | · 2500-50000 | · намного больше, чем PVD |
Интенсивность межфазной адгезии | · обычный | · предпочтительно | · хорошо | · хорошо |
Чистота фильма | · Это зависит от чистоты материала пленки и материала пленки, поддерживающего лодку или тигель. | · Это зависит от чистоты целевого материала и распыляемого газа. | · В зависимости от материала пленки, чистоты тигля и реакционного газа | · Зависит от реакционного газа |
Свойства фильма | · не равномерный | · Высокая плотность, меньше игольных отверстий, более однородная пленка | · Высокая плотность, более равномерный, меньше проколов | · Высокая чистота, хорошая компактность |
Способность покрывать сложные поверхности | · Прямая поверхность луча подложки | · Хорошая дифракция, может наноситься на все поверхности, пленка равномерная | · Может быть покрыта сложной гетероморфной поверхностью, поверхность нанесения гладкая |