Сравнение DC необъективности и предвзятости импульса

Традиционныйплакировка иона дугиотносится к DC отрицательные смещения применяется на подложке для управления ионная бомбардировка энергии. Процесс осаждения имеет следующие недостатки:

●Высокой температуры субстрата не благоприятствует осажденияЖесткие пленкина низкой температуре закалки подложке.

● высокоэнергетических ионов бомбардировки вызвало серьезные распыления, и жесткий тонкой пленки не может быть просто путем увеличения ионной бомбардировки энергии синтеза высокой реакции порог энергии.

В предвзятости дуги постоянного тока иона покрытие процесса, для того, чтобы сдерживать постоянный бомбардировать Ион поверхности субстрата и вызвало Температура подложки является слишком высокой, основной мерой является уменьшение мощности осаждения, сократить время осаждения, использование прерывистый осаждения и другие меры по снижению температуры осаждения, эти меры, называются «Метод контроля энергии». Хотя этот метод может снизить температуру осаждения, это также снижает некоторые свойства фильма, при одновременном снижении эффективности производства и стабильность качества фильма. Таким образом трудно для популяризации и применению.

В Ион смещения дуги пульс, покрытие процесса, поскольку ионы бомбардируют поверхность субстрата с неконтинуальных пульс, регулируя отношение долг пульс предвзятости, можно изменить градиент температуры между внутренней и поверхности матрицы, а затем можно изменить равновесие компенсации влияния температуры между внутренней и на поверхности субстрата, с тем чтобы достичь цель регулирования температуры осаждения. Таким образом, высота импульса прикладные предвзятости и температуре заготовки может быть отдельно (без влияния или малое влияние) скорректирована. Высоковольтных импульсов используются для получения бомбардировки эффект высокоэнергетических ионов по улучшению микроструктуры и свойства тонкой пленки, путем сокращения коэффициента обязанность уменьшить общее Отопление эффект ионной бомбардировки для снижения температуры осаждения.