Комбинированная система сверхвысокого вакуума

Комбинированная система сверхвысокого вакуума
Для некоторых вакуумных систем с особыми требованиями, например тех, которые требуют как сверхвысокого вакуума, так и безмасляного сверхвысокого вакуума и в то же время отвечают потребностям грубой откачки и справляются с большим количеством газа, выделяющегося во время процесса, комбинированная система может быть использована для удовлетворения требований. На рисунке 5-16 показана принципиальная схема вакуумной системы безмасляной установки для нанесения покрытий в сверхвысоком вакууме. Основным насосом является ионный насос распыления, который оснащен титановым сублимационным насосом для улучшения степени вакуума и удаления большого количества газа, образующегося при испарении материалов. Предельная степень вакуума может достигать 6,67×10-7Па. Насос с молекулярным ситом используется в качестве насоса предварительной откачки основного насоса. Кроме того, система также оснащена адсорбционной ловушкой - системой грубой откачки механического насоса. Когда давление превышает 1333 Па, механическому насосу нелегко вернуть масло, вакуум непосредственно в вакуумную камеру с помощью механического насоса, когда Давление в вакуумной камере ниже 1333Па, откачивают механическим способом через адсорбционную ловушку 9 из перепускной вакуумной камеры.

▲ Рисунок 5-16 Принципиальная схема безмасляной вакуумной системы для нанесения покрытий в сверхвысоком вакууме: 1- вакуумная камера 2- шиберный клапан сверхвысокого вакуума 3- Ионный насос для распыления {{7} } титановый сублимационный насос 5- клапан сверхвысокого вакуума 6- выпускной клапан 7- клапан высокого вакуума 8- насос с молекулярным ситом 9- адсорбционная ловушка 10- механический насос

Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com