Основные этапы процесса вакуумного PVD-покрытия
Apr 11, 2018| Процесс предварительной обработки
Отделочные, дробеструйные, полирующие, пассивирующие, очищающие, зажимные
Процесс покрытия
Эвакуация, нагрев, испытание на утечку, очистка бомбардировки, покрытие, охлаждение
Лечение после
1. Очистка: убедитесь, что поверхность продукта перед нанесением покрытия чистая, очистите поверхность, тем лучше качество покрытия.
2. Эвакуация: эвакуируется остаточный газ из вакуумной камеры.
3. Отопление: печь и заготовка нагреваются одновременно, чтобы ускорить выпуск остаточного газа.
4. Тест скорости нарастания напряжения: скорость утечки газа и скорость выпуска газа в испытательной печи.
5. Очистка бомбардировки: удалите загрязнения с поверхности заготовки, чтобы открыть чистую поверхность.
6. Покрытие: нанесенная пленка.
7. Охлаждение: избегать окисления и обесцвечивания заготовки.
Зачем его охлаждать?
После завершения процесса нанесения покрытия температура вакуумной камеры составляет до 500 ° C. Если он откачивается без охлаждения, поверхность высокотемпературной заготовки, которая не покрыта, станет синей из-за реакции с воздухом.
Как охлаждать?
1. Закройте верхний клапан и вакуумметр, и вакуумная камера отделена от группы насосов.
2. Когда оператор нажимает кнопку вентилятора N 2 , предварительно подсоединенный азот будет заполняться в вакуумной камере через нагнетательный клапан N 2 , а когда давление в вакуумной камере достигнет заданного давления реле давления, N 2 клапан закрывания закрыт.
3. Вакуумная камера заполнена большим количеством N 2 , и степень вакуума очень низкая, что в большей степени способствует теплопроводности. Он может сократить время охлаждения и повысить эффективность производства, а фактическое время охлаждения может быть уменьшено с 90 минут до 60 минут.
4. Поскольку гелий имеет более высокую теплопроводность, охлаждение гелия происходит быстрее, чем азот, но стоимость выше.
5. Программа быстрого охлаждения для зарубежного оборудования может сократить время охлаждения на 50% за счет охлаждения цикла охлаждения газа.
Причины повышения давления
Вакуумная среда является самым важным фактором, влияющим на качество конечного покрытия. Перед нанесением покрытия необходимо обеспечить повышение давления, чтобы обеспечить соответствие условий вакуумной среды стандарту покрытия.