Выпечка - фактор, влияющий на вакуумную систему

Для выпечки Для достижения давления в диапазоне сверхвысокого вакуума (<> ^-8 гПа) должны быть выполнены следующие условия:

1. Конечный вакуум вакуумного насоса должен быть менее чем в 10 раз превышающим требуемое предельное давление.

2. Материалы, используемые для вакуумных камер и компонентов, должны быть оптимизированы для минимальной дегазации и должны иметь соответствующий уровень обработки поверхности.

3. Должны использоваться металлические уплотнения (например, фланцевые соединения CF или стандартные фланцы стандарта ISO Helicoflex).

4. Очистка необходима для сверхвысокого вакуума. Перед установкой все детали должны быть тщательно очищены, и при установке деталей операторы должны носить безмасляные перчатки.

5. Оборудование и насосы высокого вакуума должны быть испечены.

6. Перед запуском нагревателя следует избегать и устранять утечки. Для этой цели необходимо использовать детектор утечки гелия или квадрупольный масс-спектрометр.

7. Выпечка значительно увеличивает скорость десорбции и коэффициент диффузии, что приводит к резкому сокращению времени всасывания. В качестве заключительной стадии производственного процесса камеры UHV могут быть деградированы при температурах до 900 ° C. Последующая температура выпекания может достигать 300 ° C. Инструкции изготовителя насоса для самой высокой температуры выпекания фланца высокого вакуума обычно ограничивают максимальную температуру при работе до 120 ° C. Если в вакуумном устройстве используется источник тепла (например, лучистый нагрев), должна соблюдаться допустимая излучаемая мощность.

8. Оборудование будет введено в эксплуатацию после установки. После достижения давления 10 ^-5 гПа включите нагреватель. В процессе нагрева вакуумный датчик работал и дегазировался в течение 10 часов. Если используется контейнер из нержавеющей стали и металлическое уплотнение с подходящей степенью обработки поверхности, температура выпекания 120 ° C и время нагрева около 48 часов достаточны для достижения диапазона давления ^10-10 гПа.

9. Выпечка должна продолжаться до тех пор, пока она не достигнет 100-кратного ожидаемого предельного давления. Затем выключите насос и нагреватель вакуумной камеры. После охлаждения желаемое конечное давление, вероятно, будет достигнуто. При давлениях ниже 5 × ^{10 -10} гПа большая площадь поверхности будет выгодна для использования газосодержащего насоса (титанового сублимационного насоса), который откачивает водород, выходящий из металла с высоким объемным расходом.