Внешний вид Инспекция содержимого PVD-покрытия
Mar 30, 2018| Появление покрытия PVD влияет на продажу покрытия, а дефекты внешнего вида функциональной области не только влияют на внешний вид покрытия, но также влияют на срок службы покрытия. Основными дефектами внешнего вида покрытия являются зачистка и хроматическая аберрация.
1. Удаление
Это определяется характеристиками процесса нанесения покрытия. Во время процесса покрытия старое покрытие, нанесенное на стенки печи и приспособления во время предыдущего процесса нанесения покрытия, будет продолжать трескаться, и некоторые фрагменты будут цепляться за заготовку. Новое покрытие покрывает его вместо подложки. Таким образом, старое покрытие снимается вместе с новым покрытием во время охлаждения или последующего процесса. Тяжесть отбрасывания покрытия связана с расположением и размером точки сброса. Покрытие может быть проверено микроскопическими лупами. Сильно заметное покрытие было очень заметным.
2. Хроматическая аберрация
Хроматическая аберрация относится к разнице в окраске того же покрытия. Существуют две основные ситуации: одна - разница цвета покрытия заготовки в разных положениях в той же партии, а другая - разница цвета покрытия между различными партиями. Разница в цветах связана с материалом матрицы, распределением реакционного газа в печи, массой мишени и степенью вакуума. В общем, небольшая хроматическая аберрация не влияет на характеристики покрытия. Инструмент анализа состава можно использовать для анализа различий между компонентами покрытия разных цветов и определения серьезности влияния степени разницы цветов на характеристики покрытия. Небольшая хроматическая аберрация в фактическом производстве не влияет на производительность продукта. Если разница в цвета очень очевидна, глаз можно четко видеть, и тогда внимание должно быть уделено, чтобы найти причину.
ИКС активно сотрудничает с отечественными и зарубежными компаниями и научно-исследовательскими институтами и добился значительных успехов в некоторых более широко используемых применениях покрытий. Процесс покрытия может быть использован для покрытия пленки с высокой твердостью, термической стабильностью и химической стабильностью. И различные покрытия для нанесения физического покрытия из паровой фазы, такие как TiN, TiCN, AlTiN, AlTiSiN, CrN, DLC и т. Д.