Баллон с воздухом
Oct 12, 2023| Баллон с воздухом
Группа высоковакуумных насосов небольшого диффузионного насоса обычно оснащена бензобаком, который расположен между диффузионным насосом и передним насосом для хранения газа, выпускаемого диффузионным насосом. Причинами установки бензобака являются:
1) Необходимость противоударной защиты системы
При работе вакуумной системы некоторые процессы требуют строгой ударопрочности, поэтому бывший механический вакуумный насос должен прекратить работу на время, пока вакуумная камера находится в рабочем состоянии. В течение этого времени весь газ, выпускаемый диффузионным насосом, сохраняется в бензобаке, а бензобак используется для замены механического насоса для поддержания нормальной работы диффузионного насоса.
2) Чтобы сократить рабочий цикл
Некоторые производственные процессы требуют вывода вакуумной камеры в атмосферу для замены компонентов и загрузки без закрытия нагревателя диффузионного насоса. Передний насос вакуумной установки используется в качестве насоса предварительной откачки. После загрузки вакуумная камера предварительно накачивается механическим насосом, а бензобак в это время используется для поддержания диффузионного насоса (в качестве фронтального насоса).
3) Чтобы предотвратить влияние большого количества мгновенных выбросов газа в вакуумной камере на нормальную работу диффузионного насоса.
При вакуумном производстве объем выхлопных газов в определенный период времени особенно велик, но время короткое. Если в данный момент экономически нецелесообразно настраивать механический насос в соответствии с максимальным объемом выхлопных газов, в это время в системе можно настроить резервуар для хранения предварительной ступени для хранения части газа при максимальном объеме выхлопных газов, чтобы избежать предступенчатое давление диффузионного насоса превышает максимальное обратное давление.
4) Используется для стабилизации давления на выходе диффузионного насоса.
Поскольку выхлоп механического вакуумного насоса импульсный, хотя частота и невысокая (обычно около 7 раз в секунду), это также вызывает колебания выходного давления диффузионного насоса, а настройка бензобака может уменьшить такие колебания. колебания.
Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com